Dr. Carlos Beitia
Metrology and Defectivity Manager
MINATEC, CEA-LEti, France
Recibió su licenciatura en Física de la Universidad de Panamá. Después de la cual realizo su maestría y doctorado en las Universidades de Paris 6 - Paris 7, en ciencia de materiales con especialización en física de superficies. Tras obtener su Doctorado en 1998, entró como investigador en “Trinity College” en Dublin (Irlanda) en el laboratorio de física de superficies, donde trabajó en la caracterización de materiales con ellipsometría y Generación de Segundo Harmónico. En 2001 entró a trabajar en la industria del semiconductor para KLA-Tencor Corp. líder internacional de la medida y control de proceso en micro-nano electrónica. Durante este periodo trabajó en el control de proceso por medio de ellipsometría, profilometría y medidas eléctricas. En 2009, integró el CEA (Comisión de Energía Nuclear y Energía Alternativas de Francia) como administrador científico del laboratorio de metrología del departamento de tecnología en Silicio. Desde 2011 es el administrador de la metrología y defectividad del mismo departamento. Actualmente participa al montaje y administración de programas de investigación y desarrollo en nano metrología a nivel francés y europeo con académicos e industriales. Es miembro de diferentes sociedades científicas y tecnológicas: IRDS “International Roadmap for Device and System”, Club de nano metrología Francés, Comité técnico de la organización internacional de semiconductores en el área de metrología para el empacamiento avanzado de circuitos integrados y miembro de la Sociedad de Ingenieros de Instrumentación Óptica y Fotónica. Su campo de investigación actual se centra en la metrología y control de procesos, la caracterización de procesos de estructuración y funcionalización de superficies con microscopía óptica y microscopía a fuerza atómica.
Metrology and Defectivity Manager
MINATEC, CEA-LEti, France
Recibió su licenciatura en Física de la Universidad de Panamá. Después de la cual realizo su maestría y doctorado en las Universidades de Paris 6 - Paris 7, en ciencia de materiales con especialización en física de superficies. Tras obtener su Doctorado en 1998, entró como investigador en “Trinity College” en Dublin (Irlanda) en el laboratorio de física de superficies, donde trabajó en la caracterización de materiales con ellipsometría y Generación de Segundo Harmónico. En 2001 entró a trabajar en la industria del semiconductor para KLA-Tencor Corp. líder internacional de la medida y control de proceso en micro-nano electrónica. Durante este periodo trabajó en el control de proceso por medio de ellipsometría, profilometría y medidas eléctricas. En 2009, integró el CEA (Comisión de Energía Nuclear y Energía Alternativas de Francia) como administrador científico del laboratorio de metrología del departamento de tecnología en Silicio. Desde 2011 es el administrador de la metrología y defectividad del mismo departamento. Actualmente participa al montaje y administración de programas de investigación y desarrollo en nano metrología a nivel francés y europeo con académicos e industriales. Es miembro de diferentes sociedades científicas y tecnológicas: IRDS “International Roadmap for Device and System”, Club de nano metrología Francés, Comité técnico de la organización internacional de semiconductores en el área de metrología para el empacamiento avanzado de circuitos integrados y miembro de la Sociedad de Ingenieros de Instrumentación Óptica y Fotónica. Su campo de investigación actual se centra en la metrología y control de procesos, la caracterización de procesos de estructuración y funcionalización de superficies con microscopía óptica y microscopía a fuerza atómica.